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「阳光在线吧」ASML称从2018年至今已经生产了250万张EUV晶圆:最新机器每小时可生产170张

来源:网络  2020-01-09 14:42:45    

「阳光在线吧」ASML称从2018年至今已经生产了250万张EUV晶圆:最新机器每小时可生产170张

阳光在线吧,在刚刚过去的iedm 2019大会上面,asml这家目前全球最大的euv光刻机生产商给出了一个数据:从2018年1月份以来,euv光刻系统生产的晶圆数量已经超过2011年至2017年的总和,达到250万片,而从图上可以看到,从2013开始总共已经生产了多达450万张euv晶圆。

图片来自于anandtech,下同

使用euv光刻系统生产的晶圆数量从2018年开始猛增,其中的一大原因就是asml的euv光刻系统开始出货,而在2019年我们看到台积电和三星这两家的euv生产工艺达到了成熟可用的地步,并且投入了正式的生产,比如麒麟990 5g使用的就是台积电的7nm euv制程,而三星那边则是有exynos 9825,而明年则是会有更多的芯片选择使用euv工艺来制造,比如amd的zen 3、高通的5g芯片组等。而intel那边也是要在7nm节点引入euv技术进行生产,所以未来使用euv制程的晶圆数量只会越来越多。

根据目前的数据,截至2019年第二季度,asml的nxe:3400b系统已经在全球的晶圆生产工厂中安装了38套,而更新的nxe:3400c则是可以达到更高的产能,每小时最高可达170张晶圆。

未来asml将推出接替nxe系列的exe:5000系列光刻机,它将会帮助半导体生产商继续攀爬工艺,计划将于2023年推向市场,届时台积电的3nm和intel的5nm技术可能都将借力于新款的光刻机。

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